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布魯克Dektak XT探針式表面輪廓儀(臺階儀)

發布時間:2022-07-08瀏覽:1028

 

       1968年臺階儀Dektak Ⅰ面世以來,迄今已有50多年的發展歷程。通過整合技術,突破創新,Dektak系列臺階儀已經來到了第十代,目前我們主要有兩種型號:桌面式DektakXT(圖1),樣品兼容可到8寸;另外一款是集成了防震臺一體化的落地式DektakXTL,它的兼容樣品可以達到12寸(圖2)。布魯克第十代Dektak 產品在過去五十年不斷的技術創新,得到眾多使用客戶的認可。

 

                  圖1                                                                                         圖2


臺階高度重現性低于 4 Å

       Dektak XT 是使用single-arch 設計的探針輪廓儀, single-arch 設計及智能電子器件,大大改善了設備穩定性,進一步提高防震性能。Dektak XT在測量臺階高度重復性方面具有優異的表現,臺階高度重復性可低于4Å。使用 single-arch 結構比原先的懸臂梁設計更加穩固,降低了對不利環境條件的敏感性,如聲音和震動噪音。


方便的更換探針技術讓一切變得輕松

        對多用戶儀器而言,能快速輕松更換探針以適應不同應用是必要的。Dektak臺階儀的轉接頭和探針通過強磁吸附進行連接,在探針更換工具的配合下,更換探針簡單、方便、易操作(圖3)。DektakXT 新的針尖自動校準,消除任何潛藏的針尖更換/校準隱患。這一技術讓其他困難并耗時的任務變得輕松且快速。為盡量滿足使用的要求,Bruker 提供了范圍廣泛的標準和客戶定制探針規格,包括用于深溝渠測量的高徑比針尖。

 

圖3


LVDT:主流的微位移傳感技術廣泛應用于航空航天等領域

      作為探針式表面輪廓儀核心的部件—傳感器,Dektak XT采用LVDT傳感器原理,即Linear Variable Differential Transformer線性可變差動變壓器(圖4),其優勢包括:無摩擦測量、延長機械壽命、提高分辨率、零位可重復性、軸向、堅固耐用、環境適應性、輸入/輸出隔離。

 

圖4


帶機械臂的全自動傳片臺階儀


       全自動型臺階儀(cassette-to-cassette臺階儀),將Bruker DektakXTL臺階儀系統和機械傳送臂相結合(圖5),實現了全自動上下片,通過圖形識別等功能實現自動準確定位(樣品定位精度在±5微米),自動檢測,數據自動輸出和上傳,減少人工成本和人員誤差,可以實現75mm到300mm晶圓檢測全自動化。為半導體行業在工藝開發,質量保證與質量控制應用方面進行了優化。

 


圖5

       臺階儀主要用于材料表面的2D,3D測量,可以測試臺階高度,表面粗糙度;同時也適合材料表面溝槽深度的測試;能夠在微電子,半導體及化合物半導體,太陽能、超高亮度發光二管(LED)、OLED、ITO、微流控、醫學、材料科學等行業實現納米級表面形貌測量。Dektak臺階儀測量薄膜材料可以達到埃級重現性和1nm-1mm的測量范圍。

圖6

圖7

 

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